松山湖材料實驗室原子層沉積鍍膜設備(采購方式意見征集公告)單一來源采購公示

信息來源:廣東省政府采購網 發布機構: 東莞市粵隆招標有限公司 發布日期:2019-06-14 10:52:15
采購項目編號: 441900-201905-0099990033-0015 采購品目:其他貨物 預算金額: 3,900,000.00 元
代理機構:東莞市粵隆招標有限公司 項目負責人:葉振華 項目經辦人:翟潤膺


一、采購人:松山湖材料實驗室

二、采購項目編號:441900-201905-0099990033-0015

三、采購項目名稱:原子層沉積鍍膜設備

四、采購項目預算金額(元):3,900,000.00元

五、擬采購的貨物或者服務的說明

一、原子層沉積系統ALD設備的技術要求 1. ★反應腔工藝生長厚度區間:滿足2-10nm均可實現; 2. ★反應源(三甲基鋁TMA)消耗量:生產厚度6nm條件下,消耗量≤4g/千片; 3. ★反應腔沉積膜厚均勻性:批次間均勻性≤+/-4%,批次內均勻性≤+/-5%,單片硅片內均勻性≤+/-5%; 4. ★生產能力(8nm膜厚工藝條件):≥500/小時; 5. ★反應腔破片率≤0.05% 6. ★反應腔鍍膜繞鍍≤0.5mm 7. 生長臺適用的樣品尺寸:158.75mm*158.75mm單晶/多晶硅片 8. 反應腔材料:不銹鋼; 9. 反應腔是雙層水冷構造 10. 反應腔工作壓力范圍:3-10mbar可調 11. 反應腔體真空度:無流氣抽真空0.5小時底壓< 0.3mbar 12. 危險化學品供氣管道漏率:< 5.0 x 10- 9 mbar.l/sec. 13. 設備安全:設備自身具備必要的電氣安全保護、防機械運動損壞、防真空損壞、防高溫損壞、危化學品安全偵測及互鎖機制等自我保護安全互鎖機制; 14. 反應氣流量控制精度:偏差<1% 15. 反應源溫度控制精度:偏差<+/-2 16. 反應腔具有不少于三個溫度偵測通道 17. 反應腔溫度控制精度:室溫至300℃,穩態時溫度設定值與反饋值偏差<+/-5 18. 預熱腔體配備紅外測溫計,測溫范圍:20-600 19. 可通過電腦自動控制設備,完成一個獨立的工藝實驗 20. 能夠實時監控水流量、真空腔、及傳感器的工作狀態 21. 供電電壓:三相400 V ± 10% 22. 驗收條件1:反應腔工藝生長厚度區間:滿足2-10nm均可實現; 23. 驗收條件2:反應源(三甲基鋁TMA)消耗量:生產厚度6nm條件下,消耗量≤4g/千片; 24. 驗收條件3:反應腔沉積膜厚均勻性:批次間均勻性≤+/-4%,批次內均勻性≤+/-5%,單片硅片內均勻性≤+/-5% 25. 驗收條件4:反應腔鍍膜繞鍍≤0.5mm 26. 驗收條件5:生產能力(8nm膜厚工藝條件):≥500/小時(不包含手動上下料時間); 27. TMA氣源由獨立氣源柜供應。二、商務要求 1. ★完工期:合同簽訂后90天內交貨安裝調試完成。 2. ★付款方式: 1)合同簽訂及遞交設備清單后15個工作日內預付30%貨款; 2)經采購人確認,設備到貨后付50%貨款; 3)中標人交貨并經采購人驗收合格,辦理完驗收手續后15個工作日內一次性向中標人支付中標價的10%驗收款,10%質保款于質保期滿后5個工作日內支付。 3. ★質保要求:整機保修18個月。 4. ★售后服務:隨本項目設備贈送5萬元額度備件供采購人選購,能夠提供國內售后服務,兩個工作日內響應,五個工作日提出解決方案,如果采購人需要,可派遣技術支持工程師到現場指導、配合工作。

六、采用單一來源采購方式的原因及相關說明:

1、松山湖材料實驗室原子層沉積鍍膜設備于20190322日與2019428日在公開媒體上進行公開招標,因兩次公開招標到項目投標截止時間止只有理想晶延半導體設備(上海)有限公司參與投標,由于實質性響應招標文件的投標人不足3家,根據《中華人民共和國政府采購法》第三十六條規定,實質性響應招標文件要求的供應商不足3,兩次公開招標失敗。2、由于本項目時間緊任務緊迫,只有理想晶延半導體設備(上海)有限公司響應原子層沉積鍍膜設備的招標文件內容。基于以上考慮,根據《政府采購法》第三十一條符合下列情形之一的貨物或者服務,可以依照本法采用單一來源方式采購:(一)只能從唯一供應商處采購的。本項目擬采用單一來源采購方式,現根據相關法律法規的要求,進行單一來源采購征求意見公示。

七、擬定的唯一供應商名稱、地址:

包號

供應商

供應商地址

A

理想晶延半導體設備(上海)有限公司

上海市松江區思賢路32553號樓B4

八、專家論證意見:

(一)各專家對相關供應商因專利、專有技術等原因具有唯一性的具體論證意見,專家的姓名、工作單位和職稱:

專家1:方清華,工作單位:廣東鴻翔工程檢測咨詢公司,職稱:高工;專家2:付艷平,工作單位:東莞市友安機電安裝有限公司,職稱:高工;專家3:陳云鵬,工作單位:東莞市市政園林管理中心,職稱:高工。論證委員會一致認為理想晶延半導體設備(上海)有限公司作為原子層沉積鍍膜設備的唯一供應商。

(二)專家小組綜合意見:

論證委員會一致認為理想晶延半導體設備(上海)有限公司作為原子層沉積鍍膜設備的唯一供應商。

九、本公示期限(不得少于5個工作日)自2019 年 06 月 14 日 至 2019 年 06 月 21 日 止。

十、聯系事項

(一)采購項目聯系人(代理機構):翟潤膺聯系電話:0769-88839111
采購項目聯系人(采購人):陳小姐 聯系電話:0769-89136773
(二)采購代理機構 :東莞市粵隆招標有限公司 地址:廣東省東莞市南城街道體育路2號鴻禧中心B902號
聯系人:葉振華聯系電話:0769-88839111
傳真:0769-81216222郵編:523000
(三)采購人:松山湖材料實驗室地址:東莞市松山湖大學創新城A1棟
聯系人:陳小姐聯系電話:0769-89136773
傳真:0769-89136773郵編:523000
(四)財政部門:政府采購監管科 地址:東莞市南城鴻福路99號
聯系人:政府采購監管科 聯系電話:0769-22831131

 

發布人:東莞市粵隆招標有限公司

發布時間:2019年06月14日

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